项目概述：

    使用上下料台、超声波清洗装置、喷淋冲洗装置、纯水供应装置、清洗剂供应装置、腐蚀槽、密闭腐蚀仓、加热装置、供液站、废液收集装置、排风装置、废气处理装置、机械手、控制柜、工控机、控制软件等设备，实现腐蚀前清洗、芯轴腐蚀、腐蚀后清洗三个功能。

关键指标：

    腐蚀器具采用的材料可耐浓度≥30%硝酸溶液，且温度在20℃~40℃时不变

    腐蚀仓具有恒温功能，温度20℃~40℃可调，控制精度±5℃

    超声波功率密度0~1W/cm²，连续可调

    喷淋流量≥ml/min

    搬运机构重复定位精度≤±0.1m

    全部工艺参数均可在控制软件中设定，全部工艺流程均可在控制软件中编辑

    供液系统的液体(硝酸、纯水、废液、清洗剂)流量>200ml/min，控制精度≤士2%

    纯水系统供水流量>200ml/min，定量供水精度<士1.2%